■ 光譜輸出范圍:170-2100nm
■ 光譜輻射亮度:40mW/(mm2*sr*nm)@400nm
■ 輸出方式:自由空間輸出
■ 數(shù)值孔徑:0.47
■ 功率穩(wěn)定性:RMS<0.3%@30S
■ 燈泡壽命(典型值):10000小時(shí)
■ 發(fā)光點(diǎn)尺寸:97*194um
■ 光源尺寸:82*86*76
■ 電源尺寸:113*111*209
■ 冷卻:自然冷卻,無(wú)需外部輔助
■ 充氮:工作在DUV時(shí)需要通入氮?dú)?/span>